國家智慧財產權局資訊顯示，江蘇天芯微半導體裝置有限公司申請一項名為“一種等離子處理裝置”的專利，公開號CN121662700A，申請日期為2025年11月快速。
專利摘要顯示，本發明提供一種等離子處理裝置，包括：基座、腔體；氣體分配件設定於基座上；移動部沿著移動方向可移動地設定於腔體上方；被鎖定裝置設定於基座上；鎖定裝置設定於移動部，用於在第一維護狀態下，鎖定被鎖定裝置；或在第二維護狀態下，與被鎖定裝置解除鎖定；氣體輸送裝置包括輸氣管路和至少一個接頭模組，輸氣管路和接頭模組透過與氣體分配件連線，向氣體分配件輸送工藝氣體；其中，輸氣管路包括可移動管路和固定管路，可移動管路在第一維護狀態下或第二維護狀態下，隨著移動部移動，可移動管路和固定管路透過接頭模組連線快速。本發明解決了根據不同安裝和維護需求切換不同開啟方式的問題，同時無需將輸氣管路拆下，實現管路的快速密封對接。
天眼查資料顯示，江蘇天芯微半導體裝置有限公司，成立於2019年，位於無錫市，是一家以從事專用裝置製造業為主的企業快速。企業註冊資本16385.15萬人民幣。透過天眼查大資料分析，江蘇天芯微半導體裝置有限公司參與招投標專案6次，財產線索方面有商標資訊43條，專利資訊179條，此外企業還擁有行政許可18個。
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來源快速：市場資訊
